MueTec 成立于1991年,总部位于德国慕尼黑。致力于开发高精度光学测量和检测解决方案,帮助全球半导体和微电子行业的客户提高他们的生产良率和过程控制已有近30年历史.

MueTec 在亚微米级的检测和测量领域有着丰富的经验和长期的声誉,在过去30年里,已经在世界各地安装了超过300套半导体光学测量和检测系统,在不同的工艺条件下为客户持续提供可靠的数据与无与伦比的重复性.

MueTec 的技术专家团队倾听、响应和预测全球的晶圆、掩膜、MEMS、MOEMS 制造商的需求,并以极低的维护要求提供定制化和标准的解决方案。可扩展的系统允许在一个系统中结合多种不同的应用,包括关键尺寸( CD)、套刻(Overlay)和薄膜厚度(Film Thickness)测量,以及缺陷检测(Defect Inspection)和缺陷 Review.

2020年与天准科技签订全资收购协议.

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