CMU高精度三坐标
CMU系列高精度三坐标测量机是工业领域高精度测量需求的理想选择，采用单边高架结构，移动质量更轻，有效提高运动性能以及精度稳定性。直线电机的运用，在保证精度的同时，提供更高的测量速度和加速度，可满足复杂零部件的检测需求。该系列装备具有精度卓越、测量效率高、性能稳定等特点，可帮助实现精密加工、装配和质量控制，应用于汽车制造、医疗行业、电子工业及加工制造等领域。
1、优异的结构设计
CAE辅助设计分析，减少结构设计的偏差，提高结构的稳定性，保证精度的长期稳定
单边直驱移动桥结构，移动质量更轻，驱动更接近移动质心，有效提高运动性能和精度稳定性
2、极致的稳定性
关键结构部分采用高精密碳化硅陶瓷材料，移动桥在质量更轻的同时，具备更高刚性与更低温度线膨胀性能，极大提高了精度与长期可靠性
高刚性高性能气浮导向，无摩擦无磨损，三轴均采用四面环抱式设计，具备气浮压力监测功能，有效确保稳定性
三轴采用超低线温度线膨胀系数光栅尺，对温度变化不敏感，有效提高整机的精度
3、安全性
Z轴采用柔性平衡气缸，确保Z轴运动的可靠性
Z轴平衡气缸具有气动逻辑保护和硬件抱死保护两种保护机制，可在紧急情况下确保探测系统的安全
4、自主研发，具有更好的适配性
| 型号 | 行程范围(mm) | 外形尺寸(mm) | ||||
| X | Y | Z | Lx | Ly | Lz | |
| CMU686 | 600 | 800 | 600 | 1479 | 1932 | 2780 |
| CMU8106 | 800 | 1000 | 600 | 1679 | 2132 | 2830 |
| CMU10128 | 1000 | 1200 | 800 | 1879 | 2340 | 3158 |
| CMU10158 | 1000 | 1500 | 800 | 1879 | 2632 | 3158 |
| CMU10208 | 1000 | 2000 | 800 | 1879 | 3230 | 3158 |
| CMU121510 | 1200 | 1500 | 1000 | 2104 | 2632 | 3292 |
| CMU122010 | 1200 | 2000 | 1000 | 2104 | 3230 | 3292 |
| CMU152012 | 1500 | 2000 | 1200 | 2630 | 3230 | 3950 |
| CMU152512 | 1500 | 2500 | 1200 | 2630 | 4037 | 3950 |
| CMU153012 | 1500 | 3000 | 1200 | 2630 | 4844 | 3950 |
| 长度测量最大允许误差 MPE(E0) (μm) | ||||||
| 0.9μm+L/350起 | ||||||
备注：产品技术参数修改因产品更新会有变动，具体以技术协议为准
精度指标：根据ISO 10360-2:2009，ISO 10360-5:2010 坐标测量机的性能评定标准
