硅、GaAs晶圆和其他基底可被红外(IR)光透射。MueTec将高性能红外光学与高效红外相机结合,提供具有出色分辨率和对比度的图像。


显著特点

√  光学系统针对1050至1550nm的红外波长进行了设计优化,包括优化的物镜及可选放大倍率

√  高分辨率的红外相机可确保最佳的图像分辨率和最高的对比度图像

√  IR优化的照明光路可以切换为入射或透射光

√  支持红外和可见光组合的测量与检测

√  支持实时激光自动对焦和快速图像自动对焦

√  全球领先的检测技术确保了准确性、重复性


MEMS的密封检测

根据需求调整光源波长,IRIS产品系列可自动检测影响器件功能的最小细节,例如气泡和裂缝等。MueTec将红外技术与优化的软件解决方案结合,可以检测MEMS的键合和密封。



器件缺陷检测

IRIS产品系列能够检测和分类器件有效区域中的污染和损坏情况。MueTec获得专利的可见光和红外线照明相结合方案,可以区分表面缺陷与基底内部的缺陷。

PRODUCTS
  • DaVinci 200IR/300IR
    200mm/300mm MEMS测量和检测系统(SMIF/FOUP)
    DaVinci 200IR/300IR

    典型应用

    MEMS的密封检测(共晶键合或玻璃键合)

    MEMS的器件检测

    MEMS Overlay测量

    MEMS CD测量


    主要特点

    波长可达1550nm

    支持多种MEMS专用晶圆的搬运方式(背面真空、翻转、边缘真空)

    可见光与红外光组合,反射和透射光组合照明模式

    SECS/GEM

    支持200mm SMIF,300mm FOUP

  • IRIS2100
    75mm-200mm MEMS测量和检测系统(OC)
    IRIS2100

    典型应用

    MEMS的密封检测(共晶键合或玻璃键合)

    MEMS的器件检测

    MEMS Overlay测量

    MEMS CD测量


    主要特点

    波长可达1550nm

    支持多种MEMS专用晶圆的搬运方式(背面真空、翻转、边缘真空)

    可见光与红外光组合,反射和透射光组合照明模式

    SECS/GEM

    支持75-200mm OC