硅、GaAs晶圆和其他基底可被红外(IR)光透射。MueTec将高性能红外光学与高效红外相机结合,提供具有出色分辨率和对比度的图像。
显著特点
√ 光学系统针对1050至1550nm的红外波长进行了设计优化,包括优化的物镜及可选放大倍率
√ 高分辨率的红外相机可确保最佳的图像分辨率和最高的对比度图像
√ IR优化的照明光路可以切换为入射或透射光
√ 支持红外和可见光组合的测量与检测
√ 支持实时激光自动对焦和快速图像自动对焦
√ 全球领先的检测技术确保了准确性、重复性
MEMS的密封检测
根据需求调整光源波长,IRIS产品系列可自动检测影响器件功能的最小细节,例如气泡和裂缝等。MueTec将红外技术与优化的软件解决方案结合,可以检测MEMS的键合和密封。
器件缺陷检测
IRIS产品系列能够检测和分类器件有效区域中的污染和损坏情况。MueTec获得专利的可见光和红外线照明相结合方案,可以区分表面缺陷与基底内部的缺陷。