硅、GaAs晶圆和其他基底可被红外（IR）光透射。MueTec将高性能红外光学与高效红外相机结合，提供具有出色分辨率和对比度的图像。

显著特点

√  光学系统针对1050至1550nm的红外波长进行了设计优化，包括优化的物镜及可选放大倍率

√  高分辨率的红外相机可确保最佳的图像分辨率和最高的对比度图像

√  IR优化的照明光路可以切换为入射或透射光

√  支持红外和可见光组合的测量与检测

√  支持实时激光自动对焦和快速图像自动对焦

√  全球领先的检测技术确保了准确性、重复性

MEMS的密封检测

根据需求调整光源波长，IRIS产品系列可自动检测影响器件功能的最小细节，例如气泡和裂缝等。MueTec将红外技术与优化的软件解决方案结合，可以检测MEMS的键合和密封。

器件缺陷检测

IRIS产品系列能够检测和分类器件有效区域中的污染和损坏情况。MueTec获得专利的可见光和红外线照明相结合方案，可以区分表面缺陷与基底内部的缺陷。