MueTec的掩膜检测使用的是Die-to-Die的方法，检测掩膜上统计类型的缺陷。该系统用于监视在功率半导体、LED和MEMS领域中的晶圆制造使用的掩膜。
MueTec的系统可帮助客户确定掩膜状态，是否良好，是否需要清洁或更换。
PRODUCTS
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封闭式自动检测系统Spector
典型应用
掩膜缺陷检测
主要特点
全封闭式系统
最多可支持2个吊舱或盒式工作站
基于Die-to-Die的自动检测
分辨率最高可达0.5μm
最大可支持掩膜尺寸为14英寸
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开放式自动检测系统Spector A典型应用
掩膜缺陷检测
特征
开放式系统
机械手掩膜搬运
全自动掩膜检测
基于Die-to-Die的自动检测
分辨率最高可达0.5μm
最大可支持掩膜尺寸为14英寸
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开放式半自动检测系统Spector M典型应用
掩膜缺陷检测
特征
开放式系统
手动掩膜装卸
全自动掩膜检测
基于Die-to-Die的自动检测
分辨率最高可达0.5μm
最大可支持掩膜尺寸为14英寸
