硅、GaAs晶圆和其他基底可被红外(IR)光透射。MueTec将高性能红外光学与高效红外相机结合,提供具有出色分辨率和对比度的图像。


显著特点

√  光学系统针对1050至1550nm的红外波长进行了设计优化,包括优化的物镜及可选放大倍率

√  高分辨率的红外相机可确保最佳的图像分辨率和最高的对比度图像

√  IR优化的照明光路可以切换为入射或透射光

√  支持红外和可见光组合的测量与检测

√  支持实时激光自动对焦和快速图像自动对焦

√  全球领先的检测技术确保了准确性、重复性





CD和Overlay测量

高分辨率物镜和MueTec强大的测量软件解决方案相结合,可确保最佳的测量精度以及纳米级重复性,适用于CD和Overlay测量。系统将可见光和红外光相结合,可实现基板的顶部、底部和内部结构的最佳测量。

PRODUCTS
  • DaVinci 200IR/300IR
    200mm/300mm MEMS测量和检测系统(SMIF/FOUP)
    DaVinci 200IR/300IR

    典型应用

    MEMS的密封检测(共晶键合或玻璃键合)

    MEMS的器件检测

    MEMS Overlay测量

    MEMS CD测量


    主要特点

    波长可达1550nm

    支持多种MEMS专用晶圆的搬运方式(背面真空、翻转、边缘真空)

    可见光与红外光组合,反射和透射光组合照明模式

    SECS/GEM

    支持200mm SMIF,300mm FOUP

  • IRIS2100
    75mm-200mm MEMS测量和检测系统(OC)
    IRIS2100

    典型应用

    MEMS的密封检测(共晶键合或玻璃键合)

    MEMS的器件检测

    MEMS Overlay测量

    MEMS CD测量


    主要特点

    波长可达1550nm

    支持多种MEMS专用晶圆的搬运方式(背面真空、翻转、边缘真空)

    可见光与红外光组合,反射和透射光组合照明模式

    SECS/GEM

    支持75-200mm OC