产品特点
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优异的结构设计
CAE辅助设计分析,减少结构设计的偏差,提高结构的稳定性,保证精度的长期稳定
单边直驱移动桥结构,移动质量更轻,驱动更接近移动质心,有效提高运动性能和精度稳定性
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极致的稳定性
关键结构部分采用高精密碳化硅陶瓷材料,移动桥在质量更轻的同时,具备更高刚性与更低温度线膨胀性能,极大
提高了精度与长期可靠性
高刚性高性能气浮导向,无摩擦无磨损,三轴均采用四面环抱式设计,具备气浮压力监测功能,有效确保稳定性
三轴采用超低线温度线膨胀系数光栅尺,对温度变化不敏感,有效提高整机的精度
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安全性
Z轴采用柔性平衡气缸,确保Z轴运动的可靠性
Z轴平衡气缸具有气动逻辑保护和硬件抱死保护两种保护机制,可在紧急情况下确保探测系统的安全
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自主研发,具有更好的适配性
革命性的直线电机驱动搭配TCC自研电控
Vispec Cube 自研软件,获得德国PTB最高等级 Class1(0.1μm、0.1 角秒) 认证
HSP固定扫描测头
TR50旋转测座
产品参数
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CMU686
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CMU8106
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CMU10128
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CMU10158
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CMU10208
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CMU121510
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CMU122010
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CMU152012
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CMU152512
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CMU153012
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行程范围(mm)
600 x 800 x 600
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外形尺寸(mm)
1479 x 1932 x 2780
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重量(kg)
2400
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行程范围(mm)
800 x 1000 x 600
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外形尺寸(mm)
1679 x 2132 x 2830
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重量(kg)
1000
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行程范围(mm)
1000 x 1200 x 800
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外形尺寸(mm)
1879 x 2340 x 3158
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重量(kg)
1200
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行程范围(mm)
1000 x 1500 x 800
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外形尺寸(mm)
1879 x 2632 x 3158
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重量(kg)
1500
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行程范围(mm)
1000 x 2000 x 800
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外形尺寸(mm)
1879 x 3230 x 3158
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重量(kg)
1800
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行程范围(mm)
1200 x 1500 x 1000
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外形尺寸(mm)
2104 x 2632 x 3292
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重量(kg)
1500
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行程范围(mm)
1200 x 2000 x 1000
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外形尺寸(mm)
2104 x 3230 x 3292
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重量(kg)
1800
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行程范围(mm)
1500 x 2000 x 1200
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外形尺寸(mm)
2630 x 3230 x 3950
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重量(kg)
1800
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行程范围(mm)
1500 x 2500 x 1200
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外形尺寸(mm)
2630 x 4037 x 3950
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重量(kg)
2300
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行程范围(mm)
1500 x 3000 x 1200
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外形尺寸(mm)
2630 x 4844 x 3950
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重量(kg)
2500
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