天准以微米级检测精度与自适应AI算法,为电子制造质量护航
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CN
天准高速分选机凝聚天准10余年的机器视觉技术和经验,能够实现硅片的厚度、TTV、电阻率、PN、线痕、隐裂、孔洞、脏污、崩边、尺寸等高速检测分拣设备,指标远超同类设备; 设备兼容166-230硅片,182-230半片。
分选速度快
产能较上一代设备提升>50%
伯努利悬浮式下料专利,下料速度提升50%
检测精度高
各模组在原有基础上有大幅提升
自研AOI4.0,瑕疵检测速度、检出率进一步提升
单机产能
20K/h
适用硅片规格
166mm-230mm全片,兼容182mm-230mm半片
检测精度
尺寸检测精度≤30μ (3σ);3D检测厚度精度≤0.5μ (3σ);电阻率检测精度≤2% (3σ);脏污//崩边检出率 ≥98% ,隐裂/孔洞/缺角检测率100%
稳定性
碎片率 <0.05%;直流率 <0.15% ;误判率<0.3%;漏检率<0.2%;碎片、连片、厚片、叠片、隐裂片在上料站进行剔除,避免异常片造成检测模块的异常
兼容性
可扩展自动下料,方便垂直一体化建设
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