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CMZ计量型三坐标测量

CMZ系列计量型三坐标测量机是天准生产的高端计量设备。采用固定桥结构形式及碳化硅陶瓷的Z轴组合，保证了机械结构的稳定性。直线电机的运用使其在保证精度的同时，提供更高的测量速度和加速度，可满足复杂零部件的检测需求。该系列具有卓越的精度、较高的效率及稳定的性能等特点，可帮助实现精密加工、装配和质量控制，应用于计量检测、航空航天、国防科工、汽车制造及电子工业等领域。

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产品特点

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    计量级精度

    • 得益于良好的系统设计，可实现亚微米级精度测量

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    优异的结构设计

    • 测量机采用固定桥式的高刚性机械结构，使用花岗岩横梁、底座和立柱，以及精密SiC陶瓷Z轴的组合，保持机械结构的稳定性，抗外界干扰能力强

    • 移动工作平台采用双燕尾式气浮导轨，确保系统测量和系统承载的同时提供良好的稳定性


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    极致的稳定性

    • SiC陶瓷Z轴具有热膨胀系数小、刚性强以及质量轻等优点，在保证测量系统稳定性的同时，亦提高了运动特性

    • 各轴采用预载空气轴承及环抱式布局，具有高刚性、无接触、低摩擦以及低磨损的特点，有效保证机器的使用寿命，减少测量不确定性的发生次数

    • 采用零膨胀系数光栅尺，分辨率高达到纳米级别，且不受外界温度影响，保证机器的高精度和稳定性

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    安全性

    • Z轴采用柔性平衡气缸，确保Z轴运动的可靠性

    • Z轴平衡气缸具有气动逻辑保护和硬件抱死保护两种保护机制，可在紧急情况下确保探测系统的安全


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    自主研发，具有更好的适配性

    • 革命性的直线电机驱动搭配TCC自研电控

    •  Vispec Cube 自研软件，获得德国PTB最高等级 Class1（0.1μm、0.1 角秒） 认证

    • HSP固定扫描测头

    • TR50旋转测座

产品参数

  • CMZ686

  • CMZ8106

  • CMZ10128

  • CMZ10158

  • CMZ121510

  • CMZ122010

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