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卷式（LDI）

天准TZDI卷式系列激光直接成像设备，专为攻克卷式制程工艺难题而生。 其核心搭载亚微米级超长精密龙门驱控平台，确保亚微米级精度；稳定可靠的恒张力控制系统，保障工艺一致性；结合创新的OnePass结构布局，显著提升产能——在卓越品质与高效产出之间实现完美平衡。适用于0.2-6m的FPC产品的线路图形影像转移。

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LDI卷式-43.png

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方案优势

  • c3icon02-466.svg

    高精度

    最小线宽线距可达 12/12 μm

    高精度涨缩控制在±1%%

  • 680b37417a1c6-537.svg

    功能强

    支持RTR/STR等多种生产模式

    支持分段拼接曝光

    支持寻边对位的无孔单面板曝光

  • 680b37417a505-469.svg

    高产能

    产能最高可达5m/min

    曝光台面最大支持长度可达2m

  • c3_icon_01.svg

    智能化

    可定制化的MES 系统，实时了解设备状态提升管理效率

    支持PC、移动端可视化报警、提示等功能

    支持动态二维码、DM码生成功能，为产品制程过程溯源提供保障

产品参数

  • TZDI-12R

  • TZDI-25R

  • TZDI-35R

    • LDI卷式-产品参数图-45.png

    • 平台类型

      单台面

    • 最大曝光尺寸(mm)

      200 - 1500

    • 基板厚度(mm)

      0.036 - 0.25

    • 极限线宽线距(μm)

      12/12

    • 量产线宽线距(μm)

      25/25

    • 线宽精度

      ±10%

    • 对位精度(μm)

      ±8

    • 能力均匀性

      ≥95%

    • 景深(μm)

      ±100

    • 产能

      210面/h(以单面板产品尺寸520*610 mm 为例,能量50mj/cm2)

    • 推荐应用

      FPC

    • 设备尺寸(m)

      4.52 × 1.55 × 1.8

    • 设备重量(t)

      5.3

    • LDI卷式-产品参数图-45.png

    • 平台类型

      单台面

    • 最大曝光尺寸(mm)

      200 - 6000

    • 基板厚度(mm)

      0.036 - 0.25

    • 极限线宽线距(μm)

      25/25

    • 量产线宽线距(μm)

      40/40

    • 线宽精度

      ±10%

    • 对位精度(μm)

      ±10

    • 能力均匀性

      ≥95%

    • 景深(μm)

      ±200

    • 产能

      5.5m/min(以单面板产品尺寸250*2000 mm 为例,能量50mj/cm2)

    • 推荐应用

      FPC

    • 设备尺寸(m)

      5.84 × 1.55 × 1.8

    • 设备重量(t)

      5.3

    • LDI卷式-产品参数图-45.png

    • 平台类型

      单台面

    • 最大曝光尺寸(mm)

      200 - 6000

    • 基板厚度(mm)

      0.036 - 0.25

    • 极限线宽线距(μm)

      35/35

    • 量产线宽线距(μm)

      50/50

    • 线宽精度

      ±10%

    • 对位精度(μm)

      ±12

    • 能力均匀性

      ≥95%

    • 景深(μm)

      ±300

    • 产能

      5.5m/min(以单面板产品尺寸250*2000 mm 为例,能量50mj/cm2)

    • 推荐应用

      FPC

    • 设备尺寸(m)

      5.84 × 1.55 × 1.8

    • 设备重量(t)

      5.3

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