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卷式（LDI）

天准 TZDI 系列激光直接成像设备，采用亚微米级精密驱控平台、全新一代 DMD 控制技术以及光学成像设计，融合天准视觉算法、融合标定、补偿算法等技术，以确保更高的成像质量、产能及对位精度。适用于刚性板领域的双面板、多层板、HDI 板，以及 FPC、IC 载板的影像转移。



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LDI卷式-43.png

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方案优势

  • c3icon02-466.svg

    高精度

    亚微米精度保障

    融合标定与补偿算法有效应对复杂工艺挑战

  • 680b37417a1c6-537.svg

    适用性广

    适用于刚性板领域的双面板、多层板HDI 板，以及 FPC、IC 载板的影像转移

    支持卷对卷或片对卷

  • 680b37417a505-469.svg

    高能效

    5m/min 高速生产

    超大曝光台面设计显著减少拼接次数

  • c3icon02-735.svg

    智能化

    可定制化的MES 系统，实时了解设备状态提升管理效率

    支持PC、移动端可视化报警、提示等功能

产品参数

  • TZDI-12R

  • TZDI-20R

  • TZDI-25R

  • TZDI-35R

    • LDI卷式-产品参数图-45.png

    • 平台类型

      单台面

    • 最大曝光尺寸(mm)

      200 - 1500

    • 基板厚度(mm)

      0.036 - 0.25

    • 极限线宽线距(μm)

      12/12

    • 量产线宽线距(μm)

      25/25

    • 线宽精度

      ±10%

    • 对位精度(μm)

      ±8

    • 能力均匀性

      ≥95%

    • 景深(μm)

      ±100

    • 产能

      210面/h(以单面板产品尺寸520*610 mm 为例,能量30mj/cm2)

    • 推荐应用

      FPC

    • 设备尺寸(m)

      4.52 × 1.55 × 1.8

    • 设备重量(t)

      5.3

    • LDI卷式-产品参数图-45.png

    • 平台类型

      单台面

    • 最大曝光尺寸(mm)

      200 - 3000

    • 基板厚度(mm)

      0.036 - 0.25

    • 极限线宽线距(μm)

      20/20

    • 量产线宽线距(μm)

      35/35

    • 线宽精度

      ±10%

    • 对位精度(μm)

      ±9

    • 能力均匀性

      ≥95%

    • 景深(μm)

      ±150

    • 产能

      4m/min(以单面板产品尺寸250*1500 mm 为例,能量30mj/cm2)

    • 推荐应用

      FPC

    • 设备尺寸(m)

      5.12 × 1.55 × 1.8

    • 设备重量(t)

      5.3

    • LDI卷式-产品参数图-45.png

    • 平台类型

      单台面

    • 最大曝光尺寸(mm)

      200 - 6000

    • 基板厚度(mm)

      0.036 - 0.25

    • 极限线宽线距(μm)

      25/25

    • 量产线宽线距(μm)

      40/40

    • 线宽精度

      ±10%

    • 对位精度(μm)

      ±10

    • 能力均匀性

      ≥95%

    • 景深(μm)

      ±200

    • 产能

      4.8m/min(以单面板产品尺寸250*2000 mm 为例,能量30mj/cm2)

    • 推荐应用

      FPC

    • 设备尺寸(m)

      5.84 × 1.55 × 1.8

    • 设备重量(t)

      5.3

    • LDI卷式-产品参数图-45.png

    • 平台类型

      单台面

    • 最大曝光尺寸(mm)

      200 - 6000

    • 基板厚度(mm)

      0.036 - 0.25

    • 极限线宽线距(μm)

      35/35

    • 量产线宽线距(μm)

      50/50

    • 线宽精度

      ±10%

    • 对位精度(μm)

      ±12

    • 能力均匀性

      ≥95%

    • 景深(μm)

      ±300

    • 产能

      5m/min(以单面板产品尺寸250*2000 mm 为例,能量30mj/cm2)

    • 推荐应用

      FPC

    • 设备尺寸(m)

      5.84 × 1.55 × 1.8

    • 设备重量(t)

      5.3

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