1、计量级精度

得益于良好的系统设计,可实现亚微米级精度测量

2、优异的结构设计

测量机采用固定桥式的高刚性机械结构,使用花岗岩横梁、底座和立柱,以及精密SIC陶瓷Z轴的组合,保持机械结构的稳定性,抗外界干扰能力强

移动工作平台采用双燕尾式气浮导轨,确保系统测量和系统承载的同时提供良好的稳定性

3、极致的稳定性

碳化硅陶瓷Z轴具有热膨胀系数小、刚性强以及质量轻等优点,在保证测量系统稳定性的同时,亦提高了运动特性

各轴采用预载空气轴承及环抱式布局,具有高刚性、无接触、低摩擦以及低磨损的特点,有效保证机器的使用寿命,减少测量不确定性的发生次数

采用零膨胀系数光栅尺,分辨率高达到纳米级别,且不受外界温度影响,保证机器的高精度和稳定性

4、安全性

Z轴采用柔性平衡气缸,确保Z轴运动的可靠性

Z轴平衡气缸具有气动逻辑保护和硬件抱死保护两种保护机制,可在紧急情况下确保探测系统的安全

5、自主研发,具有更好的适配性
革命性的直线电机驱动搭配TCC自研电控
革命性的直线电机驱动搭配TCC自研电控
Vispec Cube 自研软件,获得德国PTB最高等级                                     Class1(0.1μm、0.1 角秒) 认证
Vispec Cube 自研软件,获得德国PTB最高等级 Class1(0.1μm、0.1 角秒) 认证
HSP 固定扫描测头
HSP 固定扫描测头
TR50旋转测座
TR50旋转测座


型号行程范围(mm)外形尺寸(mm)
XYZLxLyLz
CMZ686600800600168221073260
CMZ81068001000600188225573260
CMZ1012810001200800208230073660
CMZ1015810001500800208235823660
CMZ121510120015001000228235074060
CMZ122010120020001000228246324060
长度测量最大允许误差 MPE(E0) (μm)
0.3μm+L/400起

备注:产品技术参数修改因产品更新会有变动,具体以技术协议为准

精度指标:根据ISO 10360-2:2009,ISO 10360-5:2010 坐标测量机的性能评定标准

返回