1、计量级精度
得益于良好的系统设计,可实现亚微米级精度测量
2、优异的结构设计
测量机采用固定桥式的高刚性机械结构,使用花岗岩横梁、底座和立柱,以及精密SIC陶瓷Z轴的组合,保持机械结构的稳定性,抗外界干扰能力强
移动工作平台采用双燕尾式气浮导轨,确保系统测量和系统承载的同时提供良好的稳定性
3、极致的稳定性
碳化硅陶瓷Z轴具有热膨胀系数小、刚性强以及质量轻等优点,在保证测量系统稳定性的同时,亦提高了运动特性
各轴采用预载空气轴承及环抱式布局,具有高刚性、无接触、低摩擦以及低磨损的特点,有效保证机器的使用寿命,减少测量不确定性的发生次数
采用零膨胀系数光栅尺,分辨率高达到纳米级别,且不受外界温度影响,保证机器的高精度和稳定性
4、安全性
Z轴采用柔性平衡气缸,确保Z轴运动的可靠性
Z轴平衡气缸具有气动逻辑保护和硬件抱死保护两种保护机制,可在紧急情况下确保探测系统的安全
5、自主研发,具有更好的适配性




型号 | 行程范围(mm) | 外形尺寸(mm) | ||||
X | Y | Z | Lx | Ly | Lz | |
CMZ686 | 600 | 800 | 600 | 1682 | 2107 | 3260 |
CMZ8106 | 800 | 1000 | 600 | 1882 | 2557 | 3260 |
CMZ10128 | 1000 | 1200 | 800 | 2082 | 3007 | 3660 |
CMZ10158 | 1000 | 1500 | 800 | 2082 | 3582 | 3660 |
CMZ121510 | 1200 | 1500 | 1000 | 2282 | 3507 | 4060 |
CMZ122010 | 1200 | 2000 | 1000 | 2282 | 4632 | 4060 |
长度测量最大允许误差 MPE(E0) (μm) | ||||||
0.3μm+L/400起 |
备注:产品技术参数修改因产品更新会有变动,具体以技术协议为准
精度指标:根据ISO 10360-2:2009,ISO 10360-5:2010 坐标测量机的性能评定标准