天准科技发布国内首台40nm明场纳米图形晶圆缺陷检测设备,开启国产半导体高端检测设备新时代
近日,天准科技(股票代码:688003.SH)参股的苏州矽行半导体技术有限公司(下文简称“矽行半导体”)宣布,公司面向40nm技术节点的明场纳米图形晶圆缺陷检测设备TB1500已完成厂内验证,标志着国产半导体高端检测设备实现了新的突破。这是继去年8月,天准科技正式交付面向12英寸晶圆65~90nm技术节点的宽波段明场缺陷检测设备TB1000不到一年后,再次取得的阶段性新进展。高精度明场缺陷检测设备的重要性从整片晶圆到单颗芯片,除了需要耳熟能详的光刻机外,还需要扩散炉、刻蚀机、离子注入机、薄膜沉积设备、化学机械抛光机和清洗机等一系列必备生产型设备。而缺陷检测设备作为保证芯片质量、降低生产成本,推进工艺迭代的重要工具,在芯片生产流程中不可或缺。特别是随着工艺制程不断演进,制造芯片的成本越来越高,检测设备的重要性与日俱增。其中,拥有更高检测精度、更全缺陷类型覆盖率的明场缺陷检测设备备受行业青睐。作为国产半导体设备厂商的代表,成立于2021年11月的矽行半导体,汇聚了来自国内外知名半导体设备公司、晶圆代工厂、上市公司和研究机构的顶尖人才,专注于高端晶圆缺陷检测设备及零部件的研发、生产和销售,努力填补国产缺陷检测设备市场的空白。依托卓越的技术团队和先进的技术实力,逐步打破了KLA等外商对缺陷检测市场的垄断,为国内半导体产业的发展注入了新的活力。TB1500是矽行半导体最新的研发成果,核心关键部件全部实现自主可控,同时采用了先进的信号处理算法,有效提高信噪比和检测灵敏度。为了满足40nm技术节点的工艺制程需求,TB1500提升了光源亮度和感度,增大了物镜视野和速度,能够捕捉更小缺陷尺寸。天准科技半导体设备深布局,助推国产半导体行业突破此外,天准科技在半导体设备领域持续发力。全资子公司MueTec研发的面向12英寸40nm技术节点的DaVinci G5设备,经过大量的晶圆实测数据验证,表现优异。与前两代产品相比,该设备提升了重复性、吞吐量和高深宽比套刻标记识别能力,将在满足大规模生产的需求下,使复杂芯片图案的套刻精度检测成为可能,极大地提高制造效率。天准科技致力打造卓越视觉装备平台企业,通过自主研发、海外并购德国MueTec和战略投资成立矽行公司等多种途径,强化在半导体检测设备领域的布局。据悉,矽行半导体面向28nm技术节点的TB2000设备当前进展顺利,各核心零部件均已完成开发,计划于2024年底发布样机。随着人工智能、大数据等技术的融合与发展,半导体检测设备将趋向更高精度、更高效率和更高智能化的方向演进。未来,天准科技将凭借其技术创新和战略布局,继续推动技术和产品升级,力争在半导体领域成为一流的半导体量测与检测设备公司,助力国产半导体行业突破。
07-15
2024
天准科技成立全资子公司,深耕智能驾驶与泛机器人领域
近日,天准科技设立名为苏州天准星智科技有限公司的全资子公司,定位于智能驾驶、具身智能以及低空经济等领域,提供人工智能底层技术和软硬件产品。天准星智注册资本2亿元,经营范围涵盖人工智能硬件和基础软件开发、人工智能理论与算法软件开发,以及人工智能通用应用系统等多个方面。天准科技长期深耕智能驾驶和机器人业务,布局车规级智能驾驶域控制器及AI边缘计算控制器两大产品线。车规级自动驾驶域控制器基于国产芯片地平线征程5及征程6研发,面向高阶自动驾驶乘用车前装量产。AI边缘计算控制器基于英伟达Jetson构建,已经落地到无人物流车、智能网联、低空经济、具身智能等多个应用场景。在2023年,天准科技智能驾驶业务实现61.94%的高速增长,并获得广汽、上汽等主机厂的智能驾驶域控制器开发定点项目和概念验证(POC)项目。2024年4月,天准科技成为地平线新一代征程6计算平台的首批四家量产合作伙伴之一,为将来进一步业务发展打下了坚实的基础。天准科技此次投资设立天准星智子公司,是公司重仓通用人工智能(AGI)、推进长期发展战略的重要布局,可以更好地适应智能驾驶业务的高速发展,并进一步大力拓展具身智能、低空经济等业务。子公司未来可通过引入产业投资、联合开发等更加灵活的形式,与产业链上下游紧密合作,促进业务的快速发展。
05-27
2024
2024年天准展会预告
展会详细信息展会名称展会日期展馆位置展位号参展展品第十三届中国数控机床展览会4月8日-12日上海新国际博览中心N3-B113CMU CMZ VMG VMQ VMC VMA国际电子电路(上海)展览会5月13日-15日上海国家会展中心7.1-7N16AOI AVI LDI第十七届(2024)太阳能光伏与智慧能源(上海)大会暨展览会6月13日-15日上海国家会展中心3H-A160光伏硅片分选机 VMU第十六届中国国际机床工具展览会6月17日-21日北京中国国际展览中心(顺义馆)E2-A043CMZ CMU CME VMZ VMG VMQ 第25届中国国际光电博览会9月11日-13日深圳国际会展中心(宝安)H3-3C21CME VMQ VMZ VMG VMC 第十二届半导体设备年会暨半导体设备与核心部件展示会9月25日-27日无锡太湖国际博览中心A1-T39待定第25届台湾电路板产业国际展览会10月23日-25日中国台北贸易中心南港展览馆待定待定国际电子电路(深圳)展览会12月4日-6日深圳国际会展中心(宝安)待定待定
02-28
2024
结“半”同行 | 天准邀您共赴CSEAC半导体设备年会
09-05
2024
秋风有信 | 天准邀您共赏CIOE中国光博会
9月11-13日全球极具规模和影响力的光电产业综合性展会CIOE中国光博会将在深圳国际会展中心(宝安新馆)举办天准科技将以“智慧光测,量见未来”为主题携多系列工业计量装备亮相本届展会诚邀您莅临展会现场共同见证和探讨未来光学检测技术的无限可能AI技术革新天准AI智能测量这一最新技术研发成果集先进视觉人工智能算法与高精度传感技术为一体旨在为行业提供更高效精准的测量解决方案工业品测量过程中时常因为环境振动、温度波动、刀具磨损等加工过程变量导致影像测量仪的自动提取功能失效需要人工干预提取直到完成测量测量效率低下而融合了AI智能测量功能的天准VM系列影像测量仪通过模仿人脑的神经元网络可自动识别、学习海量被测量物品表面特征融合出实际的产品特征图像成功实现自动提取测量过程兼具自动样图匹配、智能过滤毛刺等功能测量效率提高5倍以上大大提升了产品质量控制效率此外设备的智能化操作界面和灵活的测量模式使得无论是复杂零件的精密测量还是快速批量测量都能轻松应对测量解决方案长期以来天准工业计量装备以产品序列全面、高精准度、高检测效率享誉工业客户领域本次展会天准科技将展出CME经济型三坐标测量机VMQ闪测/VMZ超高精度VMG龙门/VMC经典影像仪等多款测量装备可满足计量院所、航空航天、3C电子、半导体、新能源汽车、医疗器械、五金工具等18个工业领域客户的产品质量控制需求半导体行业应用9月12日上午天准科技将在展会同期“光学检测先进技术论坛”上发表主题演讲与业内专家、现场观众共同探讨光学检测技术在半导体测量领域的应用前景和最新发展趋势期待您莅临天准展台H3-3C21共探光电科技未来趋势持续推动行业技术进步和产业升级
09-05
2024
天准科技荣膺2023年度江苏省企业技术创新奖,彰显精密制造领域卓越创新实力
近日,江苏省科学技术厅公布“2023年度江苏省科学技术奖”获奖名单,苏州天准科技股份有限公司(以下简称“天准科技”)凭借在精密制造业领域的卓越创新成果成功入选其中的“2023年度省企业技术创新奖”。据悉,全省仅9家企业入选,天准科技位列苏州市第一。持续创新彰显行业领导地位江苏省科学技术奖是江苏省人民政府设立的省科学技术奖励,设有“省基础研究重大贡献奖”、“省科学技术奖”、“省企业技术创新奖”、“省青年科技杰出贡献奖”等奖项,奖励在本省科学技术活动中做出突出贡献的单位和个人。其中,“江苏省企业技术创新奖”旨在奖励产业规模与竞争能力位居行业前列、引领带动性强的行业领军企业或在细分领域技术创新能力强、竞争优势突出、发挥示范作用的高成长性科技型企业。此次荣获“2023年度省企业技术创新奖”,是天准科技继2022年荣获“江苏省科学技术奖一等奖”后再度获得的省级荣誉。不仅体现了公司在技术创新上的持续努力,同时印证了天准科技在研发创新上的领先地位,彰显了公司在推动产业技术进步中发挥的积极作用。行业标杆高端工业视觉装备天准科技自2005年成立以来就展现出了强大的技术实力和创新能力,致力于为全球中高端工业客户提供视觉测量、检测、制程等高端智能装备。通过持续的研发投入与技术积累,天准科技已成为国内工业视觉装备领域的行业标杆。发展至今,天准科技已累计申请了700余项专利,制定了8项国家与行业标准及规范,获得“国家级专精特新小巨人”、“工信部智能制造系统解决方案供应商”、“国家火炬计划”、“江苏省科学技术奖”等20余项省部级以上荣誉。未来,天准科技将继续以科技创新为核心驱动力,深化技术研发,推动产业升级,助力中国制造向中国智造迈进。公司将以此次获奖为契机,进一步加大研发投入,推动更多技术创新成果的转化应用,不断为客户提供高质量、高精度的解决方案。
08-23
2024
天准VMQ龙门式闪测影像仪,大工件测量的高效精准解决方案
面对现代工业生产中对大工件进行快速、高精度测量的迫切需求,天准重磅推出VMQ龙门式闪测影像仪,以突破创新引领工业测量领域的技术变革,显著提升了大工件的测量效率。在工业生产的质检环节中,影像测量仪的精度是确保产品质量的关键所在。天准VMQ龙门式闪测影像仪通过先进的图像处理和分析算法,为大工件的测量提供了快速且精确的解决方案,能够帮助企业减少废品率、优化生产流程、节省时间与成本,全面提升产品的可靠性和客户满意度。大工件高效精准测量解决方案天准VMQ龙门式闪测影像仪在传统龙门影像仪的基础上,创新性地融合了闪测技术。不仅保留了龙门影像仪原有的高精度和大行程特性,还增加了闪测影像仪的高效与易操作性。此外,该设备的XY平台加速度可达1000mm/s,可实现在保持高精度的同时对大工件进行快速测量。高精度· 搭配双倍率自研镜头,测量精度最高3μm高效率· 最大视野82*55mm,实现大批量快速精准检测,效率提升可达20倍· XY平台加速度可达1000mm/s易操作· 自动图像配准,一键定位,无需专用定位夹具;一人可同时管理多台设备,节约成本· 配置可移动手柄,方便测量任务编制以及机台操作智能化· 外部接口丰富,定制集成到生产线,可实现自动上下料无人作业天准VMQ龙门式闪测影像仪的推出,进一步丰富了天准VM系列影像测量系统的产品族谱,为大型工件提供了更高效、更精准的测量解决方案。该设备可广泛应用于电子玻璃、大型钣金件、连接器、精密机械零件、电子元器件、半导体元器件等领域,完全满足现代精密制造业的高质量测量需求。天准精密测量与高端装备发展天准影像测量仪作为天准创立之初的第一款产品,在天准的业务布局里具有非常重要的战略意义。自2007年推出第一代自动影像仪至今,为满足精密制造行业高精度、高效率、定制化等测量需求,已陆续迭代出闪测、柱式和龙门三大VM系列的影像测量装备产品,目前已累计发货超过11000台,数字的变化见证了天准测量系统业务的持续增长。天准从精密测量开始,围绕着视觉装备,在消费电子、半导体、PCB、光伏等领域,形成一个以视觉技术、计量检测技术为核心的强大高端装备公司,将全力为实现中国在精密计量相关领域的自主可控做出应有的贡献。
08-22
2024
天准星智发布TADC-Orin-2控制器,550TOPS高算力打造L4智驾新引擎
随着自动驾驶技术的快速迭代,市场对高性能计算平台的需求呈指数级增长。为了充分应对这一挑战,天准科技全资子公司——天准星智研发的TADC-Orin-2控制器,在满足L4及以上级别自动驾驶所需的高精度环境感知、复杂决策制定和实时路径规划等要求的同时,更兼顾了能效、安全性与可扩展性,持续推动自动驾驶技术的革新,为实现智能化交通生态系统提供了坚实的技术基石。应用场景TADC-Orin-2控制器能够无间缝集成GMSL摄像头、激光雷达(LiDAR)等多种传感器,使得无人驾驶车辆能够实现更精细的环境感知、更快的决策速度和更高的行驶安全性,广泛适用于大型无人清扫、矿区工程、智慧港口、机场运输等场景中。性能优势TADC-Orin-2控制器搭载两颗Jetson AGX Orin模组,算力高达550TOPS。通过集成CPU、GPU、专用AI加速器及高性能内存子系统,从而提高计算效率、降低功耗,TADC-Orin-2控制器真正实现了异构计算。在休眠模式下可以支持IG上下电方案,指定CAN帧唤醒,整机静态消费电流低至170μA,极大降低了待机功耗。当前,智能驾驶行业面临感知能力、决策与规划、通信与协同、安全性和可靠性等众多技术挑战。天准星智TADC-Orin-2控制器的推出,显示了天准星智在解决相关技术难题上迈出了坚实的一步,为自动驾驶技术的广泛应用奠定了坚实的基础。作为NVIDIA的金牌生态合作伙伴,天准基于NVIDIA Jetson构建的AI边缘控制器产品,已经落地到无人物流车、智能网联、低空经济、具身智能等多个应用场,全面覆盖Robotaxi、Robobus、Robotruck、工程车辆、低速无人配送车、清扫车等L4应用场景。在智能驾驶领域,天准星智始终致力于推动自动驾驶产业数字化智能化发展,未来将继续加快关键核心技术攻关,结合多年来在自动驾驶控制器市场的积累和深刻理解,推动自动驾驶场景朝着更安全、更高效、更智能化的方向发展。
08-19
2024
探秘天准 科技先行丨赛迪灵犀走进天准科技标杆游学活动成功举办
7月25日,由苏州赛迪和天准科技联合举办的“探秘天准 科技先行”赛迪灵犀标杆游学——走进天准科技活动圆满结束。赛迪携手十多家行业标杆企业代表走进天准科技,共同探讨智能化建设路径,分享智能装备在精密制造领域的赋能经验,旨在传递天准数智发展理念,促进制造业向更高效率、更高质量、更高智能化发展。活动伊始,企业代表们参观了天准公司,了解天准科技的发展历程、业务战略、技术平台以及管理平台等相关公司介绍。天准相关负责人详细介绍了天准在工业计量、消费电子、半导体、PCB等精密制造领域的解决方案和行业实践案例,并展示了天准在制定行业标准、推动企业智能化建设、提升行业测量检测精度等方面所取得的行业认可和荣誉。苏州赛迪技术咨询专家 孙健苏州赛迪技术咨询专家孙健介绍了赛迪的历史沿革和企业赋能业务发展情况。苏州赛迪企业赋能团队致力于通过“业务+申报”双线赋能、“益企行”及中小企业服务月、数字化应用场景探索、供需对接及标杆游学等多个维度,为企业全方位赋能,赛迪的两项服务已成功入选“2024年全国中小企业服务月活动清单”。天准计量事业部技术总监 王志伟博士天准计量事业部技术总监 王志伟博士分享了《天准计量,助力精密制造过程中的尺寸管理》,介绍了尺寸管理的重要性及其在产品设计、生产流程和质量控制中的关键作用。王志伟提到天准在亚微米高精度测量和复合式测量方面的卓越工作,并展示了天准影像测量装备在消费电子、半导体、医疗等各行业中的应用案例,通过测量与AI技术的结合,大大提高了测量效率。天准光电事业部技术项目总监 熊让安天准光电事业部技术项目总监熊让安分享了《天准视觉平台技术在PCB领域的应用》,详细介绍Vispec2D&Calib视觉平台在激光直接成像、CO2激光钻孔对位系统中的应用,提高了对位精度、图形精度,全方位展现了天准PCB装备产品的精准高效、智能稳定、自主创新优势。在AI视觉检测领域,突出了AVI三通道检测、自研AI系统等亮点,进一步提升了检测的准确性和稳定性。赛迪研究院苏州分院研究员 周彤赛迪研究院苏州分院研究员周彤分享了智能制造能力成熟度模型(CMMM)解读,介绍了智能制造国家标准和CMMM的发展历程,详细讲解了模型的内涵和应用,并通过具体示例阐明了智能制造能力矩阵和不同成熟度等级的要求,帮助企业在实际操作中更好地理解和应用该模型。此次活动搭建了一个良好的学习交流平台,不仅能让更多企业深入了解天准的先进技术和管理理念,更是推动行业进步、促进科技创新的有力举措。作为智能装备行业的龙头企业,天准科技凭借前沿的科技创新和卓越的产品性能赢得业内口碑和地位。未来,公司将一如既往地围绕工业智能方向,持续打造更多系列高精度、高效率的智能装备解决方案,推动智能装备技术不断向前发展,为制造业的智能化转型贡献坚实力量。
07-29
2024
CIMES圆满落幕 | 天准VMZ实现0.8μm超高精度测量新突破
2024年6月21日,第十六届中国国际机床工具展览会(CIMES 2024)圆满落幕。此次展会天准携CM系列三坐标测量机、VM系列影像测量仪等多款高精度视觉检测解决方案亮相会场,并隆重举办了新品发布会,与现场观众共享天准最新科研成果,共探产业发展新思路。此次CIMES 2024以“数字未来 科技创新”为主题,汇聚了全球制造业的目光,聚焦机械制造行业高端化、数字化、智能化解决方案。为应对半导体等行业日益增长的高精密、高效率测量需求,天准以“探微见著 智测未来”为主题,在E2-A043天准展台正式发布VMZ超高精度影像仪,实现了测量精度0.8μm的突破。 天准VMZ超高精度影像仪凝聚天准在影像测量领域的多项技术成果,汇集了精密机械、测控系统、软件算法、探针系统、光学设计等多个领域的技术,实现一体化精准测量,可被广泛应用于半导体、微组装、光通信等高精度测量领域。 丨 天准VMZ超高精度影像仪该款影像仪集成了高倍显微镜头,放大倍率可达25-4000倍。其核心部分搭载了纳米级零膨胀系数光栅尺、永磁零磨损的直线电机驱动技术,多镜头多倍率融合标定算法,既确保测量过程的连续性和稳定性,还保证了仪器在长期运行下的稳定性与可靠性。导轨、镜头与光栅尺共同协作,确保了VMZ超高精度影像测量仪能够完成对各种复杂形状和尺寸的快速、准确测量。目前,我国高端影像测量产品依旧主要依赖进口,天准VMZ超高精度影像仪的出现,预示着高端市场国产化进程的加速,也推动国产影像测量仪等精密测量设备向高效率、高精度、复合式方向不断发展,最终形成以国产代替海外企业进口的态势。天准公司自成立以来,始终深耕机器视觉领域,依托强大的自主研发能力,持续推出多系列高精度、高稳定性和高效率的视觉检测解决方案。展会现场,天准CMZ计量型/CMU高精度/CME经济型的CM系列三坐标测量机,以及VMG龙门/VMQ闪测的VM系列影像测量仪升级亮相,以卓越的产品品质、稳定的性能与可靠的品牌保障,赢得了国内外客户及观众的好评与认可。丨 天准测量系统凝聚天准在机器视觉算法、数据处理分析算法、精密驱控技术和精密机械设计等多个领域的科研成果,天准CM系列三坐标测量机、VM系列影像测量仪以其出色的测量能力,为精密制造行业、生产现场研发中心、计量室等应用场景提供高精度、高稳定性、高效率的测量解决方案,实现高精度尺寸测量,可广泛应用于汽车、模具、手机面板、机械加工、精密五金制造、计量院所、航空航天等领域。为期五天的CIMES 2024已圆满落幕,感谢莅临天准展台现场的每一位新老客户。未来,天准将持续深耕核心技术,不忘初心,蓄力向“新”求“质”,期待下一次展会再聚。
06-24
2024