天准科技发布国内首台40nm明场纳米图形晶圆缺陷检测设备,开启国产半导体高端检测设备新时代
近日,天准科技(股票代码:688003.SH)参股的苏州矽行半导体技术有限公司(下文简称“矽行半导体”)宣布,公司面向40nm技术节点的明场纳米图形晶圆缺陷检测设备TB1500已完成厂内验证,标志着国产半导体高端检测设备实现了新的突破。这是继去年8月,天准科技正式交付面向12英寸晶圆65~90nm技术节点的宽波段明场缺陷检测设备TB1000不到一年后,再次取得的阶段性新进展。高精度明场缺陷检测设备的重要性从整片晶圆到单颗芯片,除了需要耳熟能详的光刻机外,还需要扩散炉、刻蚀机、离子注入机、薄膜沉积设备、化学机械抛光机和清洗机等一系列必备生产型设备。而缺陷检测设备作为保证芯片质量、降低生产成本,推进工艺迭代的重要工具,在芯片生产流程中不可或缺。特别是随着工艺制程不断演进,制造芯片的成本越来越高,检测设备的重要性与日俱增。其中,拥有更高检测精度、更全缺陷类型覆盖率的明场缺陷检测设备备受行业青睐。作为国产半导体设备厂商的代表,成立于2021年11月的矽行半导体,汇聚了来自国内外知名半导体设备公司、晶圆代工厂、上市公司和研究机构的顶尖人才,专注于高端晶圆缺陷检测设备及零部件的研发、生产和销售,努力填补国产缺陷检测设备市场的空白。依托卓越的技术团队和先进的技术实力,逐步打破了KLA等外商对缺陷检测市场的垄断,为国内半导体产业的发展注入了新的活力。TB1500是矽行半导体最新的研发成果,核心关键部件全部实现自主可控,同时采用了先进的信号处理算法,有效提高信噪比和检测灵敏度。为了满足40nm技术节点的工艺制程需求,TB1500提升了光源亮度和感度,增大了物镜视野和速度,能够捕捉更小缺陷尺寸。天准科技半导体设备深布局,助推国产半导体行业突破此外,天准科技在半导体设备领域持续发力。全资子公司MueTec研发的面向12英寸40nm技术节点的DaVinci G5设备,经过大量的晶圆实测数据验证,表现优异。与前两代产品相比,该设备提升了重复性、吞吐量和高深宽比套刻标记识别能力,将在满足大规模生产的需求下,使复杂芯片图案的套刻精度检测成为可能,极大地提高制造效率。天准科技致力打造卓越视觉装备平台企业,通过自主研发、海外并购德国MueTec和战略投资成立矽行公司等多种途径,强化在半导体检测设备领域的布局。据悉,矽行半导体面向28nm技术节点的TB2000设备当前进展顺利,各核心零部件均已完成开发,计划于2024年底发布样机。随着人工智能、大数据等技术的融合与发展,半导体检测设备将趋向更高精度、更高效率和更高智能化的方向演进。未来,天准科技将凭借其技术创新和战略布局,继续推动技术和产品升级,力争在半导体领域成为一流的半导体量测与检测设备公司,助力国产半导体行业突破。
07-15
2024
天准科技成立全资子公司,深耕智能驾驶与泛机器人领域
近日,天准科技设立名为苏州天准星智科技有限公司的全资子公司,定位于智能驾驶、具身智能以及低空经济等领域,提供人工智能底层技术和软硬件产品。天准星智注册资本2亿元,经营范围涵盖人工智能硬件和基础软件开发、人工智能理论与算法软件开发,以及人工智能通用应用系统等多个方面。天准科技长期深耕智能驾驶和机器人业务,布局车规级智能驾驶域控制器及AI边缘计算控制器两大产品线。车规级自动驾驶域控制器基于国产芯片地平线征程5及征程6研发,面向高阶自动驾驶乘用车前装量产。AI边缘计算控制器基于英伟达Jetson构建,已经落地到无人物流车、智能网联、低空经济、具身智能等多个应用场景。在2023年,天准科技智能驾驶业务实现61.94%的高速增长,并获得广汽、上汽等主机厂的智能驾驶域控制器开发定点项目和概念验证(POC)项目。2024年4月,天准科技成为地平线新一代征程6计算平台的首批四家量产合作伙伴之一,为将来进一步业务发展打下了坚实的基础。天准科技此次投资设立天准星智子公司,是公司重仓通用人工智能(AGI)、推进长期发展战略的重要布局,可以更好地适应智能驾驶业务的高速发展,并进一步大力拓展具身智能、低空经济等业务。子公司未来可通过引入产业投资、联合开发等更加灵活的形式,与产业链上下游紧密合作,促进业务的快速发展。
05-27
2024
乘AI浪潮 探发展之道 | 天准邀您共聚HKPCA SHOW 2024
11-22
2024
天准星智发布首款具身智能控制器,满足高性能轻量化开发需求
2024年被誉为具身智能发展元年,具身机器人领域热度空前火爆,创业项目和大额融资频出。AI大模型+空间智能推动具身智能进入新的发展阶段:机器人接入AI大模型后可以直接理解人的指令,将复杂的指令转化成具体的行动规划;空间智能通过分析物体之间的关系,从中得到新的发展和预测,让机器人可以像人类一样进行更复杂的视觉推理,进而采取更贴合实际的行动。·模型与算法的高效执行需要强大的底层硬件支撑算法与大模型是整个具身智能系统的“大脑”,负责感知、决策、学习和适应等核心功能。具身大脑需要理解和执行复杂任务,以实现与人类的自然交互、精准操作和高效协作。今年视觉语言模型和多模态大模型的崛起,使机器人在自然语言处理,人机交互方面产生质的飞跃。这也要求具身大脑不仅具备强大的计算能力和学习能力,还需要具备对环境和任务的深刻理解以及灵活的应对策略。以上功能的实现,需要能够处理海量信息、做出智能决策并指导身体行动的底层硬件支撑。·功能大而全的通用型智能控制器成为趋势作为底层算力的强大支撑,具身智能控制器在机器人领域受到空前关注。然而市场缺乏一款集成度高且功能全面的通用型控制器。目前绝大多数人形机器人企业采用的是传统“X86+AI”具身智能控制平台:一方面,需要在不同平台或芯片间进行切换和整合,不仅增加了系统的复杂性,还可能引发性能下降和延时增加的问题;另一方面,当前的传感器接入大多使用 USB 等传统接口,其稳定性及同步性难以得到有效保障,极大地限制了具身机器人在更为复杂和严苛场景下的落地应用。·天准星智发布首款具身智能控制器——星智001近日苏州天准星智科技有限公司推出首款专为具身机器人设计的高性能智能控制器——星智001,具备强大的计算能力与卓越的稳定性,能够满足客户多种功能实现和复杂场景应用需求。算力方面,星智001基于NVIDIA Jetson AGX Orin的嵌入式GPU模组开发,算力可达275TOPS,可以满足高清图像处理、大语言模型运行以及数据实时分析等复杂场景的运算需求。视觉感知方面,其搭载64个Tensor Core的NVIDIA Ampere架构GPU,使得星智001在图形处理、视频编码解码等方面具有出色的性能,能够处理高清图像和视频流,为机器人的视觉感知提供强大的算力支持。依托NVIDIA Issac机器人平台,星智001提供了一整套AI算法工具链解决方案。从仿真、模拟、训练到部署,星智001都能提供全方位的支持。在为机器人的原型设计提供便捷工具的同时,也方便了研发人员对具身智能机器人系统的功能和性能进行优化和升级。在接口方面,星智001支持USB相机、GMSL相机、激光雷达等多路传感器的接入,同时具备HDMI显示输出以及4G/5G蓝牙等无线通信模块。作为一款具身智能控制器,星智001通过丰富的接口拓展,满足客户对不同技术路线的验证需求,方便客户灵活部署与验证。为了满足客户对于轻量级具身智能大脑的需求,星智001整体尺寸仅160mm * 130mm * 79mm,重量低于1kg,轻量化的设计为大脑的安装提供了更多可能性,小空间部署为具身智能人形机器人的集成提供了更多选择空间。星智001的发布,为具身智能开发者提供全栈式软硬件解决方案,通过稳定可靠、实时性高的基础链路层,让客户能够更专注于软件系统工作,从而提高工作效率。在应用场景方面,星智001广泛适用于具身智能机器人和边缘AI计算领域,能够助力制造业、物流业、服务业、教育培训、医疗健康以及生命科学等多个行业实现智能化升级。特别是在智能工厂场景中,星智001凭借其卓越性能,使具身智能机器人通过环境感知、语言交互及路径规划进行智能决策的执行,有效提升机器人的智能化水平和工作效率。·关于天准星智苏州天准星智科技有限公司是科创板首批上市企业天准科技股份有限公司(股票代码:688003)的全资子公司。天准科技于2018年成立机器人事业部,开始深耕智能驾驶和机器人业务。为了更好地适应智能驾驶业务的高速发展并大力拓展具身智能、低空经济等业务,2024年5月天准科技投资设立天准星智。公司业务布局智能驾驶和泛机器人两大产品线:智能驾驶基于地平线征程5及征程6,为乘用车和商用车提供域控制器产品和智能驾驶集成解决方案,成为地平线征程6计算平台的首批四家量产合作伙伴之一,已获得多家主机厂定点。泛机器人产品基于英伟达Jetson产品线,是英伟达金牌合作伙伴,为低速无人车、智能网联、低空经济、具身智能等场景提供具身智能大脑、MEC、AI边缘计算控制器等产品和解决方案,目前已累计服务规模以上客户2000余家。
11-15
2024
计量领域展风采,承载使命向未来
10月31日,首届计量仪器装备展(MIEE 2024)在苏州国际博览中心圆满落下帷幕。天准科技在本次展会上精彩亮相,全方位展示在计量领域的先进技术与创新成果。首届计量仪器装备展(MIEE 2024)由中国计量协会主办,上海市计量协会、江苏省仪器仪表学会联合主办,以“计量支撑新质生产力”为主题,近300家国家产业计量测试中心、计量技术机构、国内外高端仪器仪表企业参展。作为工业计量领域的领军企业,天准受邀亮相本届展会,为观众带来高质量、高精度的计量解决方案。技术突破 国产加速赋能行业解决方案在此次展会中,天准CMZ计量型三坐标吸引了众多参观者的注意。该设备基于超高精度0.3μm国家重大专项复合测量机技术研发而成,天准科技自主完成了测量软件、探测系统、电控系统以及机械系统的研发工作,在国产高精度坐标测量领域树立了新的标杆。其卓越的性能可满足复杂零部件的超高精度检测需求,为众多行业提供了可靠的检测解决方案,有力推动了我国计量行业的发展进步。天准VMZ超高精度影像仪测量精度高达0.8μm,在同类产品里处于领先地位。该设备集成了高倍显微镜头,放大倍率可达6360倍;核心部分搭载了纳米级零膨胀系数光栅尺,确保测量过程的连续性和稳定性;具备微米级激光对焦精度,能够瞬间完成对焦,可轻松应对各种复杂测量任务,广泛应用于半导体、微组装、光通信等高精度测量领域。实力彰显 广泛关注领航计量发展之路10月30日开展首日,天准科技多款展品一经亮相便引起了现场的高度关注与热烈反响。国家市场监督管理总局、江苏省政府、国家总局计量司以及省市场监管局有关领导先后莅临展台参观指导,并对公司取得的成绩给予了充分肯定。下午,国家市场监督管理总局副局长白清元、总局计量司相关领导、全国各省(市、区)市场监管局(厅、委)分管领导、计量处处长以及全国各计量技术机构主要负责人一行至天准公司参观调研。江苏省政府副秘书长司勇、江苏省市场监管局局长、党组书记沈海斌、苏州市市场监管局局长顾玉琪、苏州市高新区领导宋长宝陪同调研。天准科技副董事长杨聪向调研组讲解了公司发展历程、核心优势以及未来战略。创新升级 持续赋能推动新质生产力健康发展作为中国科创板首次过会的三家企业之一,天准科技始终坚持以领先技术推动工业数字化智能化发展。公司将以此次展会和调研为新的起点,以科技创新为核心驱动力,推动产业升级。未来,天准科技将持续深耕工业视觉装备领域,推出更多高精度、高效率的计量装备及解决方案,为发展新质生产力贡献力量。
11-05
2024
CPCA SHOW+2024 | 天准与您相约深圳,共探行业发展趋势
10-31
2024
主题演讲 | 基于 NVIDIA Jetson AGX Orin 的高算力控制器在自动驾驶场景的应用
10月17日,天准科技成功举办了“基于NVIDIA Jetson AGX Orin的高算力控制器产品在自动驾驶场景的应用”的线上演讲活动,详细介绍了天准TADC-Orin-2高算力产品解决方案在矿山工程、智慧港口、大型无人清扫以及无人小巴等场景的应用。双重利好低速无人驾驶产业迅猛发展目前,中国无人驾驶市场正处于政策支持与技术进步的双重驱动下,封闭或半封闭场地的低速无人驾驶技术已稳步着陆,多家L4级自动驾驶公司也已切入低速无人驾驶赛道。据新战略低速无人驾驶产业研究所预测,2025年总体销售规模将达160亿元,各类低速无人车销售数量或达3.4万台。当前,矿区工程、智慧港口、大型无人清扫以及无人小巴等场景普遍存在工作环境相对恶劣,人工成本以及运营成本持续攀升,亟需使用无人驾驶来解决人力成本、运营效率等问题。面向上述场景和行业痛点,作为NVIDIA金牌合作伙伴,天准基于NVIDIA Jetson AGX Orin平台,推出TADC-Orin-2高算力产品解决方案,能够满足L4及以上级别自动驾驶所需的高精度环境感知、复杂决策制定、实时路径规划等要求,更兼顾了能效、安全性与可扩展性。天准TADC-Orin-2控制器高算力产品解决方案·方案介绍天准TADC-Orin-2控制器搭载两颗Jetson AGX Orin模组,算力高达550TOPS,具备强大的计算能力,满足复杂自动驾驶场景下的各种数据处理需求。同时能够接入多路GMSL摄像头、激光雷达(LiDAR)等多种传感器,使得无人驾驶车辆能够实现更精细的环境感知、更快的决策速度和更高的行驶安全性。·核心技术天准TADC-Orin-2控制器实现了自动驾驶与远程接管于一体,支持PTP/gPTP授时,同步精度达到微秒级别,能够满足多应用场景的实际需求。其安全可靠的硬件设计也为无人驾驶商业化运营提供了重要保障。·应用场景天准TADC-Orin-2控制器能够使无人驾驶车辆实现更精细的环境感知、更快的决策速度和更高的行驶安全性,可广泛适用于矿区工程、智慧港口、大型无人清扫、无人小巴等场景。在线互动答疑Q1:嘉宾老师可以具体介绍一下该方案的双MCU设计吗?A1:整机双MCU方案支持英飞凌TC397或者芯驰E3640,两个MCU之间以及MCU与Orin之间可以通过内部的交换机进行数据交互。整机通过MCU进行上下电管理、系统诊断,并支持CAN/CANFD扩展功能。Q2:嘉宾老师演讲中有提到在产品上实现的时间同步,在应用端如何获取这些信息,是打包到V4L2中的吗?A2:天准会提供一套触发取图的Demo给到客户,客户可以集成到自己的应用程序里,包括如何进行触发控制、时间戳获取以及时间戳与图像的绑定方法。客户可以基于这套方法进行开发和集成,当然在集成过程中遇到任何相关问题,天准都会提供技术支持。Q3:双芯片间速率测试达到9Gbps,请问这个速度设计初衷是为了承载多少传感器呢?A3:双Orin之间有2条数据链路,一条是主从Orin之间的PCIE通信,另外一条是通过内置的交换机进行主从Orin之间的数据交互。对于PCIE链路,天准为了方便客户使用,从BSP层将其封装成Vnet的方式,对于用户层来说可以通过TCP/IP的方式进行访问和数据交互。9Gbps的速度是单条链路的数据,在客户实际使用的场景中会把多路图像的数据或者多个激光点云的数据进行传输,因客户的传感器方案和数量不同,所以我们在设计上采用了多条链路通信,保证客户多传感器的数据能够正常交互。
10-24
2024
展会预告 | 天准邀您共聚TPCA SHOW 2024
10-15
2024
结“半”同行 | 天准邀您共赴CSEAC半导体设备年会
09-05
2024
秋风有信 | 天准邀您共赏CIOE中国光博会
9月11-13日全球极具规模和影响力的光电产业综合性展会CIOE中国光博会将在深圳国际会展中心(宝安新馆)举办天准科技将以“智慧光测,量见未来”为主题携多系列工业计量装备亮相本届展会诚邀您莅临展会现场共同见证和探讨未来光学检测技术的无限可能AI技术革新天准AI智能测量这一最新技术研发成果集先进视觉人工智能算法与高精度传感技术为一体旨在为行业提供更高效精准的测量解决方案工业品测量过程中时常因为环境振动、温度波动、刀具磨损等加工过程变量导致影像测量仪的自动提取功能失效需要人工干预提取直到完成测量测量效率低下而融合了AI智能测量功能的天准VM系列影像测量仪通过模仿人脑的神经元网络可自动识别、学习海量被测量物品表面特征融合出实际的产品特征图像成功实现自动提取测量过程兼具自动样图匹配、智能过滤毛刺等功能测量效率提高5倍以上大大提升了产品质量控制效率此外设备的智能化操作界面和灵活的测量模式使得无论是复杂零件的精密测量还是快速批量测量都能轻松应对测量解决方案长期以来天准工业计量装备以产品序列全面、高精准度、高检测效率享誉工业客户领域本次展会天准科技将展出CME经济型三坐标测量机VMQ闪测/VMZ超高精度VMG龙门/VMC经典影像仪等多款测量装备可满足计量院所、航空航天、3C电子、半导体、新能源汽车、医疗器械、五金工具等18个工业领域客户的产品质量控制需求半导体行业应用9月12日上午天准科技将在展会同期“光学检测先进技术论坛”上发表主题演讲与业内专家、现场观众共同探讨光学检测技术在半导体测量领域的应用前景和最新发展趋势期待您莅临天准展台H3-3C21共探光电科技未来趋势持续推动行业技术进步和产业升级
09-05
2024