破局芯制程，自主铸基石 | 天准闪耀SEMI-e半导体展

此次参展，天准重点展出 TB 系列明场纳米图形晶圆缺陷检测设备与 DaVinci 系列套刻精度测量设备，彰显了公司在量检测设备自主研发领域的技术实力。

TB 系列明场纳米图形晶圆缺陷检测装备为全自动宽波段图形晶圆检测系统，可为200mm/300mm 晶圆提供高效、高灵敏度的缺陷检测，可广泛应用在前道、后道各工艺层中，满足不同工艺节点缺陷检测需求。目前已推出 TB1100、TB1500 和TB2000 三款机型，分别覆盖 180-65nm、55-40nm 及 28-14nm 工艺节点。

DaVinci 系列适用于 40nm 及以上制程节点所有层次的套刻精度量测，具备高精度、高重复性及高深宽比测量性能。

在专场技术演讲中，天准以《国产明场纳米图形晶圆缺陷检测设备助力集成电路制造良率提升》为题，分享了公司在前道检测领域的自主创新能力与战略布局，现场反响热烈。

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