天准以微米级检测精度与自适应AI算法，为电子制造质量护航
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CN
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高灵敏度
可稳定抓取尺寸 30nm 及以上缺陷
先进的信号处理算法，有效提高信噪比
深紫外宽波段，可抓取各种类型缺陷
高Throughput
高data rate
多种pixel size 选择
支持high speed 扫描模式
智能软件支持
在线智能分类系统SDA
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