VMZ高精度影像仪

VMZ超高精度影像仪专为高精度测量场景倾力打造,亚微米级精度,适用于半导体、微组装、光通信等高精度测量场景。

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产品特点

  • 配图:VMZ-1-36.png

    顶级的光学系统,超高放大倍率

    • 多种高倍显微镜头可选择,放大倍率可达 25-6360倍 

    • 激光辅助对焦,聚焦时间小于1秒

    • 可程控式环形落射光源,LED轮廓光源,同轴光源,光源配置丰富,产品适用范围广


  • 配图:VMZ-2-37.png

    高精度运动平台

    • 花岗岩主体结构,精度高、稳定性好

    • 采用纳米级超低膨胀系数光栅尺,确保机台精度及稳定性 

    • 高速静音电机驱动,设备平稳可靠


  • 配图:VMZ-3-38.png

    丰富的配件选项

    • 可加装光谱位移传感器,实现高度、平面度等尺寸的扫描与打点测量

    • 多种可选物镜,实现更多的放大倍率


产品参数

  • VMZ432-T1

  • VMZ432-T2

  • VMZ432-T3

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