CMZ 计量型三坐标

CMZ 系列计量型三坐标测量机是天准研发生产的高端精密测量装备。采用固定桥结构形式、花岗岩机身和碳化硅陶瓷的 Z 轴组合,保证了测量精度的高稳定性。三轴直线电机的驱动形式,不仅消除了传动误差,还因无接触无磨损驱动而提高了精度稳定性、因高响应速度而提高了测量效率。适用于计量检测、半导体装备、航空航天、电子信息等领域的高精度测量场景。

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产品特点

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    优异的结构设计

    • 测量机采用固定桥式的高刚性机械结构,使用花岗岩横梁、底座和立柱,以及精密 SiC 陶瓷 Z 轴的组合,保持机械结构的稳定性,抗外界干扰能力强

    • 移动工作平台采用双燕尾式气浮导轨,确保系统测量和系统承载的同时提供良好的稳定性


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    极致的稳定性

    • SiC 陶瓷 Z 轴具有热膨胀系数小、刚性强以及质量轻等优点,在保证测量系统稳定性的同时,亦提高了运动特性

    • 各轴采用预载空气轴承及环抱式布局,具有高刚性、无接触、低摩擦以及低磨损的特点,有效保证机器的使用寿命,减少测量不确定性的发生次数

    • 采用零膨胀系数光栅尺,分辨率高达到纳米级别,且不受外界温度影响,保证机器的高精度和稳定性

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    安全性

    • Z 轴采用柔性平衡气缸,确保Z轴运动的可靠性

    • Z 轴平衡气缸具有气动逻辑保护和硬件抱死保护两种保护机制,可在紧急情况下确保探测系统的安全


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    计量级精度

    • 得益于良好的系统设计,可实现亚微米级精度测量

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    自主研发,具有更好的适配性

    • 革命性的直线电机驱动搭配 TCC 自研电控

    • Vispec Cube 自研软件,获得德国 PTB 最高等级 Class 1(0.1 微米、0.1 角秒)认证

    • 可搭配 HSP 固定扫描测头、CSP紧凑型扫描测头

    • 可搭配 TR50 旋转测座

产品参数

  • CMZ686

  • CMZ8106

  • CMZ10128

  • CMZ10158

  • CMZ121510

  • CMZ122010

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