产品特点
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优异的结构设计
测量机采用固定桥式的高刚性机械结构,使用花岗岩横梁、底座和立柱,以及精密 SiC 陶瓷 Z 轴的组合,保持机械结构的稳定性,抗外界干扰能力强
移动工作平台采用双燕尾式气浮导轨,确保系统测量和系统承载的同时提供良好的稳定性
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极致的稳定性
SiC 陶瓷 Z 轴具有热膨胀系数小、刚性强以及质量轻等优点,在保证测量系统稳定性的同时,亦提高了运动特性
各轴采用预载空气轴承及环抱式布局,具有高刚性、无接触、低摩擦以及低磨损的特点,有效保证机器的使用寿命,减少测量不确定性的发生次数
采用零膨胀系数光栅尺,分辨率高达到纳米级别,且不受外界温度影响,保证机器的高精度和稳定性
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安全性
Z 轴采用柔性平衡气缸,确保Z轴运动的可靠性
Z 轴平衡气缸具有气动逻辑保护和硬件抱死保护两种保护机制,可在紧急情况下确保探测系统的安全
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计量级精度
得益于良好的系统设计,可实现亚微米级精度测量
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自主研发,具有更好的适配性
革命性的直线电机驱动搭配 TCC 自研电控
Vispec Cube 自研软件,获得德国 PTB 最高等级 Class 1(0.1 微米、0.1 角秒)认证
可搭配 HSP 固定扫描测头、CSP紧凑型扫描测头
可搭配 TR50 旋转测座
产品参数
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CMZ686
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CMZ8106
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CMZ10128
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CMZ10158
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CMZ121510
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CMZ122010
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行程范围 (mm)
600×800×600
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外形尺寸 (mm)
1682×2107×3260
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重量 (kg)
4760
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行程范围 (mm)
800×1000×600
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外形尺寸 (mm)
1882×2557×3260
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重量 (kg)
6207
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行程范围 (mm)
1000×1200×800
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外形尺寸 (mm)
2082×3007×3660
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重量 (kg)
8000
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行程范围 (mm)
1000×1500×800
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外形尺寸 (mm)
2082×3582×3660
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重量 (kg)
9600
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行程范围 (mm)
1200×1500×1000
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外形尺寸 (mm)
2282×3582×4060
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重量 (kg)
10800
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行程范围 (mm)
1200×2000×1000
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外形尺寸 (mm)
2282×4632×4060
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重量 (kg)
13800
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