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AI产业链装备深耕者

聚焦半导体芯片、算力设施、智能终端与机器人等领域,提供高端量检测装备、微纳制程装备及具身智能方案。

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套刻与关键尺寸测量设备

面向晶圆与掩模的精密测量需求,提供套刻误差(Overlay)、关键尺寸(CD)及膜厚测量解决方案,并支持基于红外技术的套刻误差与关键尺寸测量。