DaVinci

DaVinci 套刻误差精密量测系统

⾯向先进晶圆制造的高精度 Overlay 量测平台

DaVinci 系列是专为半导体晶圆制造流程中套刻误差（overlay）量测设计的高精度量测系统，采用创新的结构框架与全自动化操作架构，提供稳定可靠、精度达亚纳米级的套刻误差量测能力。 

系统特别面向 foundry 客户的高阶工艺需求，结合人机友好的软件界面、自动化配方（recipe）生成与优化功能，极大简化操作流程，提升测量效率与⼀致性。同时，系统内建标准 SECS/GEM 通讯协议，确保与 fab 自动化系统无缝集成，支持量产环境下的高通量需求。