产品特点
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优异的结构设计
CAE 辅助设计分析,减少结构设计的偏差,提高结构的稳定性,保证精度的长期稳定
高刚性高性能气浮导向,无摩擦无磨损,三轴均采用四面环抱式设计,具备气浮压力监测功能,有效确保稳定性
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极致的稳定性
关键结构部分采用高精密碳化硅陶瓷材料,移动桥在质量更轻的同时,具备更高刚性与更低温度线膨胀性能,极大提高了精度与长期可靠性
三轴采用超低线温度线膨胀系数光栅尺,对温度变化不敏感,有效提高整机的精度
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安全性
Z轴采用平衡气缸气动逻辑保护和硬件抱死保护两种保护机制,可在紧急情况下确保探测系统的安全
全包围覆盖框架设计,保障使用安全性,降低维护成本
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自主研发,具有更好的适配性
革命性的直线电机驱动搭配 TCC 自研电控
Vispec Cube 自研软件,获得德国PTB最高等级 Class 1(0.1微米、0.1角秒)认证
可搭配 HSP 固定扫描测头、CSP紧凑型扫描测头
可搭配 TR50 旋转测座
产品参数
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CMU686
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CMU8106
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CMU10128
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CMU10158
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CMU10208
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CMU121510
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CMU122010
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CMU152012
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CMU152512
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CMU153012
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行程范围 (mm)
600×800×600
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外形尺寸 (mm)
1330×1460×2810
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重量 (kg)
1500
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行程范围 (mm)
800×1000×600
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外形尺寸 (mm)
1530×1660×2810
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重量 (kg)
1960
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行程范围 (mm)
1000×1200×800
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外形尺寸 (mm)
1730 x 1860×3160
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重量 (kg)
2500
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行程范围 (mm)
1000×1500×800
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外形尺寸 (mm)
1730×2160×3160
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重量 (kg)
3100
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行程范围 (mm)
1000×2000×800
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外形尺寸 (mm)
1730×2660×3160
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重量 (kg)
4000
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行程范围 (mm)
1200×1500×1000
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外形尺寸 (mm)
2300×2940×3640
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重量 (kg)
5000
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行程范围 (mm)
1200×2000×1000
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外形尺寸 (mm)
2300×3440×3640
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重量 (kg)
6000
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行程范围 (mm)
1500×2000×1200
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外形尺寸 (mm)
2600×3440×3940
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重量 (kg)
8000
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行程范围 (mm)
1500×2500×1200
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外形尺寸 (mm)
2600×3940×3940
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重量 (kg)
9500
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行程范围 (mm)
1500×3000×1200
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外形尺寸 (mm)
2600×4440×3940
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重量 (kg)
11000
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