CMU 高精度三坐标

CMU 系列高精度三坐标测量机是天准生产的高端测量设备,采用单边高架结构,移动质量更轻,有效提高运动性能以及精度稳定性。直线电机的运用,在保证精度的同时,提供更高的测量速度和加速度,可满足复杂零部件的检测需求。具有卓越的精度、较高的效率及稳定的性能等特点,可帮助实现精密加工、装配和质量控制,应用于汽车制造、医疗行业、电子工业及加工制造等领域。

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产品特点

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    优异的结构设计

    • CAE 辅助设计分析,减少结构设计的偏差,提高结构的稳定性,保证精度的长期稳定

    • 高刚性高性能气浮导向,无摩擦无磨损,三轴均采用四面环抱式设计,具备气浮压力监测功能,有效确保稳定性

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    极致的稳定性

    • 关键结构部分采用高精密碳化硅陶瓷材料,移动桥在质量更轻的同时,具备更高刚性与更低温度线膨胀性能,极大提高了精度与长期可靠性

    • 三轴采用超低线温度线膨胀系数光栅尺,对温度变化不敏感,有效提高整机的精度

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    安全性

    • Z轴采用平衡气缸气动逻辑保护和硬件抱死保护两种保护机制,可在紧急情况下确保探测系统的安全

    • 全包围覆盖框架设计,保障使用安全性,降低维护成本


  • 580×454_CMZ-5.png

    自主研发,具有更好的适配性

    • 革命性的直线电机驱动搭配 TCC 自研电控

    • Vispec Cube 自研软件,获得德国PTB最高等级 Class 1(0.1微米、0.1角秒)认证

    • 可搭配 HSP 固定扫描测头、CSP紧凑型扫描测头

    • 可搭配 TR50 旋转测座


产品参数

  • CMU686

  • CMU8106

  • CMU10128

  • CMU10158

  • CMU10208

  • CMU121510

  • CMU122010

  • CMU152012

  • CMU152512

  • CMU153012

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