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卷式（LDI）

天准 TZDI 卷式系列 LDI 设备，专为卷式制程设计。搭载超长精密龙门驱控平台与恒张力控制系统，确保亚微米级精度与产品一致性；结合 OnePass 结构布局，实现高精度与高产能的平衡。适用 0.2–6 m 的 FPC 线路图形影像转移。

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LDI卷式-43.png

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产品优势

  • c3icon02-466.svg

    高精度

    最小线宽线距可达 12/12 μm

    高精度涨缩控制在 ±1 ‱

  • 680b37417a1c6-537.svg

    功能强

    支持 RTR/STR 等多种生产模式

    支持分段拼接曝光

    支持寻边对位的无孔单面板曝光

  • 680b37417a505-469.svg

    高产能

    产能最高可达 5 m/min

    曝光台面最大支持长度可达 2 m

  • c3_icon_01.svg

    智能化

    可定制化的 MES 系统，实时了解设备状态提升管理效率

    支持 PC、移动端可视化报警、提示等功能

    支持动态二维码、DM 码生成功能，为产品制程过程溯源提供保障

产品参数

  • TZDI-12R

  • TZDI-25R

  • TZDI-35R

    • LDI卷式-产品参数图-45.png

    • 平台类型

      单台面

    • 最大曝光尺寸 (mm)

      200-1500

    • 基板厚度 (mm)

      0.036-0.25

    • 极限线宽线距 (μm)

      12/12

    • 量产线宽线距 (μm)

      25/25

    • 线宽精度

      ±10%

    • 对位精度 (μm)

      ±8

    • 能力均匀性

      ≥95%

    • 景深 (μm)

      ±100

    • 产能

      210面/h（以单面板产品尺寸 520×610 mm 为例，能量50 mJ/cm2）

    • 推荐应用

      FPC

    • 设备尺寸 (m)

      4.52×1.55×1.8

    • 设备重量 (t)

      5.3

    • LDI卷式-产品参数图-45.png

    • 平台类型

      单台面

    • 最大曝光尺寸 (mm)

      200-6000

    • 基板厚度 (mm)

      0.036-0.25

    • 极限线宽线距 (μm)

      25/25

    • 量产线宽线距 (μm)

      40/40

    • 线宽精度

      ±10%

    • 对位精度 (μm)

      ±10

    • 能力均匀性

      ≥95%

    • 景深 (μm)

      ±200

    • 产能

      5.5 m/min（以单面板产品尺寸 250×2000 mm 为例，能量50 mJ/cm2）

    • 推荐应用

      FPC

    • 设备尺寸 (m)

      5.84×1.55×1.8

    • 设备重量 (t)

      5.3

    • LDI卷式-产品参数图-45.png

    • 平台类型

      单台面

    • 最大曝光尺寸 (mm)

      200-6000

    • 基板厚度 (mm)

      0.036-0.25

    • 极限线宽线距 (μm)

      35/35

    • 量产线宽线距 (μm)

      50/50

    • 线宽精度

      ±10%

    • 对位精度 (μm)

      ±12

    • 能力均匀性

      ≥95%

    • 景深 (μm)

      ±300

    • 产能

      5.5 m/min(以单面板产品尺寸 250×2000 mm 为例，能量 50 mJ/cm2)

    • 推荐应用

      FPC

    • 设备尺寸 (m)

      5.84×1.55×1.8

    • 设备重量 (t)

      5.3

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