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明场缺陷检测

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解决方案

针对先进逻辑制程的严苛质检需求，天准明场缺陷检测方案搭载多项自研核心技术，全方位优化检测能力与制程适配性。

设备搭载 CMO 连续变倍技术，支持最小 36 nm 检测 pixel，大幅提升小尺寸缺陷检测精度，搭配 3*3 pixel 高精度扫描区域定义，灵活适配各类在线图形检测场景，检测有效区域占比 ＞90%，有效提升检测精度、降低检测噪声。设备支持多材料光学模拟技术，可结合实际工艺结构提供全波时域仿真，波长覆盖 260 nm ~ 600 nm，为在线检测方案落地提供精准技术支撑。同时设备搭载高速运动平台，实现连续运动与 TDI 同步，减少 step 等待时间，搭配高速 HPC 架构有效提升整体运算与检测效率。

方案优势

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    GDS ROI 技术方案：更高的 ROI 精度，更低的检测噪声

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    AI 算法与数据分析方案：智能检测，噪声抑制，多类型适配

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    光学仿真设计体系：搭载专业仿真引擎与完备材料库，快速迭代优化光学方案

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    高速精密运动平台：优化平台运动加速性能，大幅提升整机检测处理效率

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