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暗场缺陷检测

暗场设备（750×500）.jpg

解决方案

天准暗场缺陷检测方案支持 266 nm 检测波段，显著提升细微缺陷检测精度；搭载 GDS ROI 绘制功能，有效提升 ROI 定义精度，提升缺陷信噪比，降低非关注区域的噪声干扰。同时搭载多元化 AI 算法，高效优化缺陷信号分析。

设备配套高速运动平台与高速 HPC，有效提升设备运动速度与数据运算效率，从而提升整机 WPH 量产产能。

方案优势

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    GDS ROI 技术方案：更高的 ROI 精度，更低的检测噪声

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    AI 算法与数据分析方案：智能检测，噪声抑制，多类型适配

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    高速运动平台：平台加速，检测效率提升

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