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明场缺陷检测

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解决方案

天准明场缺陷检测设备搭载 CMO 连续变倍技术，可适配用户多样化 pixel 应用场景，同时提供更友好的软件功能模块，支持 offline recipe 建立，提升用户办公效率。

设备搭载高速运动平台，连续运动与 TDI 同步，减少 step 等待时间，搭配高速 HPC 提升运算效率。同时支持多材料光学模拟技术，可结合功率器件实际工艺结构提供全波时域仿真，波长覆盖 260~600 nm，精准匹配功率器件制程特性，辅助在线检测方案。

方案优势

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    AI 算法与数据分析方案：智能检测，噪声抑制，多类型适配

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    光学模拟仿真：专业的仿真引擎，丰富的材料数据库，有效的方案优化输出

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    高速运动平台：平台加速，检测效率提升

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    灵活的软件功能：更丰富应用场景，更便捷的操作使用，更高的开发效率

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