CN

联系我们
喷淋盘（1920x600）.jpg 喷淋盘（750x500）.jpg

喷淋头测量

行业挑战

  • 01

    喷淋头孔径直径在零点几毫米，公差需达到微米级标准，测量精度要求高

  • 02

    喷淋头小孔数量数以万计，传统测量效率受到严重制约

  • 03

    测量数据庞大，普通软件运算能力受限

喷淋盘（580x454）.jpg

解决方案

喷淋头作为半导体 CVD 设备的核心关键部件，反应气体需通过其表面成千上万的小孔均匀输送至反应腔内部，小孔的加工精度直接决定晶圆成膜的均匀性与整体制程品质。由于喷淋头小孔数量庞大、排布密集，传统测量方式效率低下，对设备的高速、高精度检测能力有着严苛要求。

天准影像测量仪搭载专属飞拍功能，彻底革新传统测量模式。区别于传统设备“工作台移动定位-影像系统抓取被测特征-工作台移动定位”的循环方式，飞拍模式可在工作台连续移动的过程中同步完成特征抓取，全程无需停顿，大幅提升整体测量效率。针对喷淋头微孔同心圆放射状的排布特性，设备还支持专属圆形路径规划检测，精准适配工件结构特征，高效完成大批量微孔的高精度检测作业。


方案优势

  • x1_iocn2.svg

    采用不停顿飞拍检测，效率提升 5-10 倍

  • x1_iocn3.svg

    兼容直线、圆弧多种运动轨迹

  • x1_iocn4.svg

    配套简易直观的操作测量软件

相关产品

可能感兴趣的方案